滕超：七年磨一劍 突破“卡脖子”

“把光刻膠的樣品從色譜柱中洗脫出來，用來測定交聯(lián)度和分子量，利用的是體積排阻的分離機(jī)理。”在廣東省深圳市職業(yè)技術(shù)學(xué)院應(yīng)用技術(shù)研發(fā)院的實(shí)驗(yàn)室里，年輕的特聘教授滕超正在給學(xué)生解釋實(shí)驗(yàn)原理。

別小看他身后那間光線昏黃的實(shí)驗(yàn)室，雖然面積不大，里面的每臺(tái)設(shè)備都是滕超眼中倍加珍惜的“寶貝”。今年6月，正是在這間幾十平方米的實(shí)驗(yàn)室中研制出的光敏聚酰亞胺光刻膠，通過測試驗(yàn)證，性能可以滿足進(jìn)口替代要求。

從研發(fā)到成功，滕超和團(tuán)隊(duì)在這個(gè)項(xiàng)目上鉆研了七年之久。相比傳統(tǒng)光刻膠，這種新型光刻膠既起光刻作用又是介電材料，可以大大縮短工序，提高生產(chǎn)效率，使我國芯片制造供應(yīng)鏈上重要的原料實(shí)現(xiàn)了自主可控。

眼前這位科研工作者雖然年輕，但面對團(tuán)隊(duì)時(shí)表述準(zhǔn)確、利落，舉手投足間透露著沉著、穩(wěn)重。這位高分子物理專業(yè)博士是“轉(zhuǎn)行”從事新材料研究的，在這個(gè)追求速度的領(lǐng)域，他靠什么取得了成功？

故事始于10年前南京大學(xué)博士畢業(yè)前夕，一家企業(yè)找上門來想要聯(lián)合研發(fā)，才讓滕超真正了解當(dāng)時(shí)我國光電顯示和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所面臨的現(xiàn)狀。“屏幕背后有著一堆源頭技術(shù)仍然被‘卡脖子’，例如精確控制液晶層厚度的LCD間隔物微球材料，問世近40年了，但技術(shù)和供應(yīng)卻仍然被日本企業(yè)攥在手里。”

這讓滕超作出一個(gè)大膽的決定——到離產(chǎn)業(yè)最近的深圳去從事應(yīng)用技術(shù)研究！滕超將這個(gè)想法告訴了最敬重的薛老師，得到了老師的支持和鼓勵(lì)。

滕超口中的薛老師，是對他科研路上影響最深的榜樣，這位新中國高分子領(lǐng)域的首批博士之一，經(jīng)常告誡滕超，“做研究不要死盯著數(shù)據(jù)上的東西，不要只想著發(fā)論文，而是要多出對產(chǎn)業(yè)有用的成果”。

隔行如隔山，滕超首先挑戰(zhàn)LCD間隔物微球項(xiàng)目時(shí)，就遇到前所未有的困難。

“技術(shù)層面的問題我還可以通過大量閱讀和實(shí)驗(yàn)來補(bǔ)充提升，最難的是組建團(tuán)隊(duì)。”原來，這個(gè)項(xiàng)目是研發(fā)替代材料而非突破性產(chǎn)品，難以發(fā)表論文，因此課題組很難招到人。從做實(shí)驗(yàn)、采集數(shù)據(jù)到分析、測試每個(gè)環(huán)節(jié)，滕超和搭檔親自上手，“幾乎在辦公室住了一年多”。

功夫不負(fù)有心人。在狂補(bǔ)功課和汗水灌注中，交叉學(xué)科的知識(shí)網(wǎng)絡(luò)給了滕超“靈光一擊”。他設(shè)計(jì)了一套算法，去精確控制實(shí)驗(yàn)當(dāng)中的變量，終于取得成功：數(shù)個(gè)工廠同時(shí)進(jìn)行測試，竟破天荒地全部一次性通過。

這也是中國首個(gè)能夠全面通過平板顯示行業(yè)測試并具備量產(chǎn)能力的相關(guān)產(chǎn)品，打破了日本在此領(lǐng)域幾十年來的長期壟斷，如今國內(nèi)的主要平板顯示制造企業(yè)，全都用上這款高性價(jià)比的高精度微球材料。

微球研發(fā)的成功給了滕超和團(tuán)隊(duì)莫大的鼓舞和信心。2015年，滕超將目光投向困擾芯片研發(fā)的關(guān)鍵材料光刻膠。這種材料用于芯片核心部分的電路封裝和光刻開口，被日本和美國壟斷，并對國內(nèi)許多領(lǐng)域的企業(yè)禁售。

不少企業(yè)有苦難言——光刻膠的保質(zhì)期只有6個(gè)月，不能大量存儲(chǔ)，長期的技術(shù)壟斷造成“賣方市場”。這樣的壟斷不僅體現(xiàn)在最終產(chǎn)品上，還表現(xiàn)在產(chǎn)品的原物料。

“以光刻膠核心的光敏劑為例，我們需要高純度的光敏劑，國內(nèi)沒有貨源，而日本企業(yè)在了解到采購意圖后都拒絕供應(yīng)。”回憶起開發(fā)過程，滕超的臉上現(xiàn)出苦笑，“我們發(fā)現(xiàn)原料這道坎沒有捷徑，只能新設(shè)一個(gè)研發(fā)小組，硬著頭皮從光刻膠的各個(gè)組分開始攻關(guān)合成方法和提純工藝。”

項(xiàng)目組從國內(nèi)能大宗供應(yīng)的原料化學(xué)品入手，最終一步步得到滿足項(xiàng)目需求的高純度光敏劑成品和其他原料。“盡管這拉長了光刻膠的研發(fā)周期，但國內(nèi)產(chǎn)業(yè)原料供應(yīng)鏈的建立讓我們徹底擺脫了再一次被‘卡脖子’的可能。”

“學(xué)以致用，產(chǎn)業(yè)報(bào)國。”如今的滕超像他的導(dǎo)師那樣，常常叮囑團(tuán)隊(duì)中的數(shù)十名博士、碩士生。在這樣的氛圍中，團(tuán)隊(duì)攻下一個(gè)又一個(gè)“卡脖子”的產(chǎn)業(yè)痛點(diǎn)：液晶取向劑、硬化絕緣層材料、電聲音質(zhì)增強(qiáng)材料。

“科研攻關(guān)時(shí)，要考慮的不能只是商業(yè)價(jià)值，更多要考慮的是它對國家和社會(huì)以及產(chǎn)業(yè)有沒有貢獻(xiàn)。”滕超堅(jiān)定地說，“必須要把關(guān)鍵核心技術(shù)掌握在自己手中！”

（本報(bào)記者 黨文婷 嚴(yán)圣禾）